发布时间：2023-03-16 来源：网络
1.1 通例刻蚀酸扔筑设利用HF/HNO3混淆溶液，要到达PERC电池的哀求的0.3g以上的减重，平整度扔光度才干知足哀求，药耗量扩展，本钱扩展2-3倍。
1.2 高浓度的含氮、含氟元素排放给废水处分酿成极大地负责，光伏电池筑设公司环保压力日益增大，利用碱刻蚀扔光是改日的一种趋向。
1.3 采用无机碱（KOH/NaOH）正在刻蚀工艺中对扩散后硅片后背及边沿举办刻蚀扔光，代替守旧酸扔光刻蚀工艺，不妨获得更好的扔光职能，并消浸工艺本钱。
1. 硅片漂浮正在HF/HNO3/H2SO4构成的刻蚀液上，去除后背及边沿的PSG，抛光同时对后背举办扔光；2. 通过NAOH水溶液去除多孔硅以及中和硅片表观的酸液；3. 经由HF水溶液去除硅片正面的PSG，扔光后后背平整度扩展，对长波光的反射扩展，鼓励了投射光的二次接收，从而擢升Isc，同时因为后背比表观积减幼，消浸了后背复合，且不妨擢升后背钝化成效。
1. 开始正在链式筑设中举办后背酸洗，硅片正在常温经由后背酸洗筑设，酸槽中HF浓度3％～20％，用于去除扩散后硅片后背及边沿PSG。
2.其次正在槽式筑设中举办碱扔光，后背扔光利用TMAH、扔光液以及水混淆所配溶液对硅片背表观举办扔光，硅片后背及边沿被无机碱扔光，用于将后背以及边沿PN结通过刻蚀扔光去除。
3. 正在槽式碱扔光流程中，因为硅片正面存正在PSG，将守卫硅片正面的PN结不被无机碱侵蚀扔光，正在碱扔光后通过HF溶液再去除正面的PSG，告竣所有刻蚀流程。
1. 利用无机碱体例做扔光，无高浓度F、N元素，大幅度消浸废水处分本钱，更环保；
3. 电职能增益，通过前后道工艺成亲，可能抬高服从0.1%，且目前测验室依然获得了更高的服从增益，改日仍有提效空间；
4. 举座本钱更低，利用碱扔光刻蚀体例，单片本钱较酸扔光低0.1元以上，消浸了70%，极大的消浸至单晶PERC电池的筑设本钱。
1. 表象：碱扔后的硅片，正面边沿或边角有昭着的过扔表象，正面边沿有雀斑过扔。江南体育.(中国)APP官方网站抛光
2. 缘由领会：后背 去PSG时，后背个别未接触HF，导致没有完整去除后背PSG。
2. 缘由领会：硅片进入后背PSG刻蚀时，扩散面放反，导致正面PSG守卫层被作怪。
2. 缘由领会：扩散面扩散PSG不屈均；扔光槽增添剂浓度不敷；扔光槽溶液比例失衡，硅酸盐浓渡过高；扔光槽溶液寿命到期。
3. 办理计划：调节扩散工艺，加厚表观PSG；补加增添剂；排查精排排液境况是否寻常，补液是否寻常；耽误精排时刻，同时抬高增添剂补加比例。
4.7 碱扔光手艺因涉及到链式筑设与槽式筑设，如涌现一面很是境况，调节正派、本领和目前的通例单晶PERC造绒工序与刻蚀工序本领似乎。
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